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PLD真空系统(小型溅射离子枪,小型电子束蒸发器,准分子激光器)

点击量:   时间:2020-06-30 10:37

一、仪器信息

仪器名称PLD真空系统,小型溅射离子枪,小型电子束蒸发器,准分子激光器

仪器编号2009004807200849690720085182072008397107

所属实验室分子团簇与纳米结构研究室

存放地点1-108房间

生产厂商沈阳科学仪器研制中心有限公司,Oxford Applied ResearchThermo electron corporation, Coherent Laser Group

设备型号LMBE-450EX03EGN-4CompexPro 201

二、技术指标

主要包括脉冲准分子激光器、外延室、电器控制系统、进样室、气体电离系统、四极质谱仪、表面清洗离子枪、小型电子束蒸发装置、激光束扫描系统、计算机控制系统等。

PLD真空系统:极限真空优于3.0×10-8Pa(经烘烤除气后),可进行真空样品传递;

准分子激光器:主波长248nm,单脉冲能量可达700mJ,脉宽25ns,脉冲稳定性:<±1%

负责人赵风周

联系方式fzzhao@ldu.edu.cn

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